緊湊型臺(tái)式光刻系統(tǒng)

重新定義無(wú)掩模光刻技術(shù)
LITHO MASKLESS 是一款緊湊型臺(tái)式光刻系統(tǒng)利用基于 UV LED 的 DLP 引擎實(shí)現(xiàn)無(wú)掩模圖案化。設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，精準(zhǔn)它將微加工技術(shù)從潔凈室和任何研究或教育空間中帶出來(lái)。

克服傳統(tǒng)掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)的局限性：
-傳統(tǒng)的掩模對(duì)準(zhǔn)器長(zhǎng)期以來(lái)一直對(duì)半導(dǎo)體研究造成障礙
-設(shè)備笨重且昂貴
-操作程序復(fù)雜且僵化
-潔凈室基礎(chǔ)設(shè)施要求
-掩模制造的交付周期
-每個(gè)掩膜的成本很高 通常要幾百到幾千美元

可安裝顯微鏡的模塊：

可與傳統(tǒng)品牌顯微鏡配合使用，無(wú)需額外占用空間。
通過(guò)PLANCK軟件進(jìn)行即時(shí)投影：

上傳圖片并在幾秒鐘內(nèi)曝光。
無(wú)潔凈室操作：

直接在潔凈工作臺(tái)內(nèi)使用。
無(wú)掩模工作流程：

消除光掩模制造時(shí)間和成本。
定制圖像圖案：
支持PNG、JPG和灰度模式，實(shí)現(xiàn)靈活的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。

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緊湊型臺(tái)式光刻系統(tǒng)