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產(chǎn)品中心電子束曝光系統(tǒng)ELS-F125/F100/HS50電子束曝光系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺加速電壓達125KV的電子束曝光系統(tǒng)，其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
電子束曝光系統(tǒng)ELS-F125具有以下優(yōu)點：
l 超高書寫精度
- 5 nm 線寬精度 @125 kV
- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應(yīng)小化 @125 kV
l 大通量、均勻性好
- 寬視野書寫:500um視場下10 nm線寬
- 高束流下電子束直徑依然很小，大通量而不影響分辨率，2 nm電子束直徑@1 nA
l 界面用戶友好
基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:
-簡單易用的圖案設(shè)計功能
-易于控制的電子束條件
二、電子束曝光系統(tǒng)主要功能：
l 主要應(yīng)用
納米器件的微結(jié)構(gòu)
集成光學器件，如光柵，光子晶體等
NEMS結(jié)構(gòu)，復(fù)雜精細結(jié)構(gòu)
光刻掩模板，壓印模板
l 技術(shù)能力
三、應(yīng)用：
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