看完本篇你就知道什么是圓探針式臺階儀了

更新時(shí)間：2022-07-14

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　　臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

　　其測量原理是：當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。

　　傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

　　圓探針式臺階儀主要用于材料的結(jié)構(gòu)及表面解析，在微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域大顯身手。

　　同時(shí)按照應(yīng)用的領(lǐng)域不同，要求不同，臺階儀的型號也多種多樣，下面以我們優(yōu)尼康提供的一款型號為P-17的臺階儀為例，簡單介紹下這款儀器的功能以及應(yīng)用，以供大家參考了解臺階儀可以做什么，有哪些功能，該型號為常用款，如有更高需求也可以咨詢我們，會(huì)為大家推薦更合適的機(jī)臺。

　　通過點(diǎn)擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及光學(xué)變焦相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可支持2D或3D測量。圖案識別、排序和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。

　　圓探針式臺階儀的設(shè)備特點(diǎn)如下：

　　臺階高度：幾納米至1000μm

　　微力恒力控制：0.03至50mg

　　樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

　　視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

　　圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

　　軟件：簡單易用的軟件界面

　　生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化