光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。
 

　　三維光學(xué)輪廓儀是對(duì)物體的輪廓、三維尺寸、三維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測(cè)表面的滑移進(jìn)行測(cè)量的，是接觸測(cè)量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測(cè)量某些難以測(cè)量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測(cè)量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測(cè)表面容易被觸針劃傷，為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測(cè)量壓力。
 

　　光學(xué)輪廓儀的操作步驟：
 

　　1、將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
 

　　2、將夾具放置在載物臺(tái)上;
 

　　3、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài);
 

　　4、使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
 

　　5、完成掃描設(shè)置和命名等操作;
 

　　6、點(diǎn)擊開始測(cè)量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會(huì));
 

　　7、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“去除外形”，采用默認(rèn)參數(shù)，點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
 

　　8、進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，增刪參數(shù)類型。
 

　　9、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線;
 

　　10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo)，選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提取;
 

　　11、進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。